RTF1200-PECVD转动式PECVD系统详细介绍：

RTF1200-PECVD转动式PECVD系统有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉。

【技术参数】

【瑞典KANTHAL A1电阻丝】

(1) 、表面温度高可达1420℃

(2) 、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3) 、电阻均衡、温场均衡性好

【装有空气开关和漏电保护器】

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

【可以和电脑连接】

RTF1200单温区转动管式炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

【炉膛】

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

☆ 控制精度：+/- 1 ℃

☆ 触发器：移相触发

☆ 电器：浙江正泰

☆ 可控硅：106/16E 德国西门康

☆ 最高温度：1200 ℃                    

☆ 额定温度：1100 ℃

☆ 升温速率：≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）

☆ 推荐升温速率：≤10℃/ Min

☆ 热电偶型号：K  型

☆ 加热段长度：400mm              

【可选UL认证电气板】

（全部通过UL认证的进口电器）

【控制方式】

采用宇电程序控温仪表（标配）

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

【真空法兰】

1、为了增加抽气速率，达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25）

2、如用于供气系统，可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.

☆ 转动电机功率： 40W

☆ 电动推杆功率：40W

☆ 炉子倾斜角度： -10~30度

☆ 炉管转动速率 ：采用无级变速电机  转速可在1-25转/min 之间可调

☆ 转动密封方式 ：采用转动磁流体密封

☆ 四周表面温度：≤45℃