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  • RTF1200-PECVD转动式PECVD系统

产品摘要:

有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。


产品描述

RTF1200-PECVD转动式PECVD系统详细介绍:

 

RTF1200-PECVD转动式PECVD系统有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉。

 

【技术参数】

 

型号 功率 炉管尺寸(mm) 外形尺寸 电源电压 相数
RTF1200-PECVD 3.5KW Dia60(OD)X1400mm 1300X420X1200 220V 单相
 

【瑞典KANTHAL A1电阻丝】

 

(1) 、表面温度高可达1420℃

 

(2) 、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

 

(3) 、电阻均衡、温场均衡性好

 

【装有空气开关和漏电保护器】

 

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

【可以和电脑连接】

 

RTF1200单温区转动管式炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

【炉膛】

 

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

 

2、采用日本技术成型。

 

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

 

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

☆ 控制精度:+/- 1 ℃

 

☆ 触发器:移相触发

 

☆ 电器:浙江正泰

 

☆ 可控硅:106/16E 德国西门康

 

☆ 最高温度:1200 ℃                    

 

☆ 额定温度:1100 ℃

                                       

☆ 升温速率:≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

 

☆ 推荐升温速率:≤10℃/ Min

 

☆ 热电偶型号:K  型

                                                   

☆ 加热段长度:400mm              

 

【可选UL认证电气板】

 

(全部通过UL认证的进口电器)

 

【控制方式】

 

采用宇电程序控温仪表(标配)

 

1、30段程序控温智能PID调节。

 

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

 

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

 

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

 

5、仪表具有温度自整定的功能

 

【真空法兰】

 

1、为了增加抽气速率,达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25)

 

2、如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.

 

☆ 转动电机功率: 40W

 

☆ 电动推杆功率:40W

 

☆ 炉子倾斜角度: -10~30度

 

☆ 炉管转动速率 :采用无级变速电机  转速可在1-25转/min 之间可调

 

☆ 转动密封方式 :采用转动磁流体密封

 

☆ 四周表面温度:≤45℃

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